Mikro-, Nano- und Detektortechnologie

Forschen im Mikrokosmos

Das FMF arbeitet eng mit der Mikrosystemtechnik der 11. Fakultät zusammen, um neue Materialien und Oberflächen für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik – von der Sensorik bis zur Mikrooptik – maßzuschneidern. Durch die Integration von Materialien in Mikrosysteme werden Funktionen mit hoher Funktionsdichte erzeugt. Das Forschungsspektrum reicht von (Bio)-Sensorik, Detektortechnologie und Aktorik bis hin zu Mikrooptik und Mikrofluidik. Detektoren für die Sicherheit an Flughäfen oder zur Messung von Radioaktivität sind komplexe Systeme, bei denen jedes Einzelteil speziell gefertigt werden muss. Im Nanobereich werden Cluster erzeugt, an denen die Eigenschaften von Materialien untersucht werden können.